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        URE-2000/35型紫外光刻机

        简要描述:URE-2000/35型紫外光刻机,采用三柔性支点实现高精度自动调平;真空接触自动曝光;样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制。

        • 产品型号:
        • 厂商性质:生产厂家
        • 更新时间:2021-07-08
        • 访  问  量:2017

        详细介绍

        品牌其他品牌价格区间面议
        仪器种类微流控芯片系统应用领域医疗卫生,环保,电子

         

        产品名称:URE-2000/35型紫外光刻机
        主要技术指标:
        曝光面积:100mm×100mm
        分辨力:1um(胶厚1.5μm的正胶)
        对准精度:±0.8μm
        大胶厚:300μm(SU8胶)
        掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
        样片尺寸:直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm);
        照明均匀性:±4%(Ф100mm 范围)
        汞灯功率:350W(直流)
        掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
        URE-2000/35型紫外光刻机技术特点:
        创新采用三柔性支点实现高精度自动调平;真空接触自动曝光;样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制;采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明;可连续设定分离间隙;采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。

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