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        • URE-2000/35型紫外光刻机
          URE-2000/35型紫外光刻机

          更新时间:2021-07-08

          型号:

          浏览量:2018

          URE-2000/35型紫外光刻机,采用三柔性支点实现高精度自动调平;真空接触自动曝光;样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制。
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        • TYG-2000/T2步进投影光刻机
          TYG-2000/T2步进投影光刻机

          更新时间:2021-03-15

          型号:

          浏览量:846

          TYG-2000/T2步进投影光刻机,照明系统:冷光椭球镜; 350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗); XYZ汞灯调节台; 光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜负透镜、蝇眼透镜组(79个透镜)、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2; 冷却风扇
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        • DS-2000/14G型光刻机
          DS-2000/14G型光刻机

          更新时间:2021-03-15

          型号:

          浏览量:930

          DS-2000/14G型光刻机该机可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波长的极紫外光作为光源,用DMD数字微镜阵列替代传统掩模板,采用积木 错位蝇眼透镜实现高均匀照明
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